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偶聯(lián)劑氣相沉積系統(tǒng)應用

   鈣鈦礦屬于新材料太陽能電池領域，現(xiàn)有技術中鈣鈦礦太陽能電池中鈣鈦礦層存在缺陷多、電荷復合損失嚴重等問題，鈣鈦礦薄膜的表面修飾方法，包括如下步驟：(1)通過氣相沉積法(2)將表面修飾在60～150℃下干燥。使得鈣鈦礦薄膜表面疏水，可有效屏蔽環(huán)境中的濕氣對鈣鈦礦的侵蝕，大大延緩了鈣鈦礦薄膜的降解速度，進而有效提高制備的鈣鈦礦太陽能電池的穩(wěn)定性。

  鈣鈦礦表面修飾中，硅烷類化合物被廣泛用于提升材料性能和穩(wěn)定性，

主要通過鈍化表面缺陷、優(yōu)化晶體結構或增強界面相互作用。以下是具體應用和方法：

硅烷鈍化劑的類型與作用

  氟硅烷（或硅烷偶聯(lián)劑OTC）通過氣相沉積法鈍化鈣鈦礦表面，減少缺陷密度。處理后鈣鈦礦

太陽能電池的功率轉換效率（PCE）達22.6%，光致發(fā)光量子產率（PLQY）從6%提升至24%，

且在85°C、高濕度下1500小時后仍保持95%初始效率 。 ?

?有機硅烷表面重構?：

封裝后器件在1725小時光照后保持85%初始效率 。 ?

效果與優(yōu)勢

?光學性能?：鈍化后量子點PL強度提升28%，吸收峰位置不變，形貌更均勻 。 ?

?穩(wěn)定性?：SPE處理的量子點在高溫（80°C）和高濕度（84% RH）下穩(wěn)定性分別提升3.75倍和21% 。 ?

?器件性能?：氨基硅烷處理的鈣鈦礦太陽能電池在高溫高濕下保持長期高效，且晶體有序性良好 

  偶聯(lián)劑氣相沉積系統(tǒng)還可用于硅片、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、防指紋、藍寶石、晶圓、航空陶瓷新材、陶瓷介孔新材料、陶瓷纖維保溫棉等材料。